A. Skumanich
SPIE OE/LASE 1992
A. Skumanich
SPIE OE/LASE 1992
John A. Hoffnagle, William D. Hinsberg, et al.
Microlithography 2003
Leo Liberti, James Ostrowski
Journal of Global Optimization
Alfred K. Wong, Antoinette F. Molless, et al.
SPIE Advanced Lithography 2000